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高純度ガス系バルブ 半導体製造工程でお使いいただける、スーパークリーンバルブ(ダイヤフラムバルブ、ベローズバルブ、チェックバルブ等)の製品一覧です 高纯气体系统阀门 半导体制造工序中可使用的超洁净阀(隔膜阀、波纹管阀、止回阀等)的产品一览。
NTD 集積用自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
高い耐久性と流量の安定性を兼ね備えた1.125" C-Seal対応のダイヤフラムバルブです
XD 自動ダイヤフラムバルブ
XD 自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
高純度ガスプロセス用の低コストダイヤフラムバルブです 半導体を含めた幅広い分野でご使用いただけます
KD 自動ダイヤフラムバルブ
KD 自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
低圧ダイヤフラムのフラッグシップモデルです 半導体用高純度ガス対応の高品質ダイヤフラムバルブです
KD-T 可変流量ツーステップバルブ
KD-T 可変流量ツーステップバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
1台で全閉・任意開度・全開のコントロールが可能なダイヤフラムバルブです ダイヤフラムにて任意開度を制御するためパーティクルフリーを実現しています
KD-K 250℃対応オールメタル自動ダイヤフラムバルブ
KD-K 250℃対応オールメタル自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
環境温度250℃まで対応可能なオールメタルダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構成部品全てが高温環境下で使用できる仕様となっています
KD-HK 300℃対応オールメタル自動ダイヤフラムバルブ
KD-HK 300℃対応オールメタル自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
環境温度300℃まで対応可能なオールメタルダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構成部品全てが高温環境下で使用できる仕様となっています
KD-A 200℃対応自動ダイヤフラムバルブ
KD-A 200℃対応自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
環境温度200℃まで対応可能なPFAシートのダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構成部品全てが高温環境下で使用できる仕様となっています
KD-S 200℃対応自動ダイヤフラムバルブ
KD-S 200℃対応自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
環境温度200℃まで対応可能+Cv値の安定性を兼ね備えたPFAシートのダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構成部品全てが高温環境下で使用できる仕様となっています
TD-S 200℃対応自動ダイヤフラムバルブ
TD-S 200℃対応自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
環境温度200℃まで対応可能+Cv値の安定性を兼ね備えたPFAシートの集積用ダイヤフラムバルブです 接ガス部だけでなくアクチュエーターを含む構成部品全てが高温環境下で使用できる仕様となっています
VLD 自動ダイヤフラムバルブ
VLD 自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
KDシリーズをベースに性能・機能・耐久性を継承し低コストを実現したバルブです 半導体用高純度ガス対応のダイヤフラムバルブです
KCD コンパクト自動ダイヤフラムバルブ
KCD コンパクト自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
KDシリーズをベースにコンパクト化したバルブです 半導体用高純度ガス対応の高品質ダイヤフラムバルブです
VLCD コンパクト自動ダイヤフラムバルブ
VLCD コンパクト自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
VLDモデルをベースにコンパクト化したバルブです 半導体用高純度ガス対応の高品質ダイヤフラムバルブです
TDF 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
TDF 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
ALDプロセスに必要な高速応答、高耐久、耐熱性、Cv安定性を有したダイヤフラムバルブです
KD-E シート交換可能自動ダイヤフラムバルブ
KD-E シート交換可能自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
RSV(リプレイサブルバルブ) KDシリーズをベースにシートとダイヤフラムを交換可能としたダイヤフラムバルブです
ZCD ゼロボリューム自動ダイヤフラムバルブ
ZCD ゼロボリューム自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
バルブ内部のデットボリュームを極限まで小さくしたダイヤフラムバルブです
TD 集積用自動ダイヤフラムバルブ
TD 集積用自動ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
集積タイプ 1.125"C-Seal対応のダイヤフラムバルブです
WD シート交換可能自動ダイヤフラムバルブ 0.98MPa仕様
WD シート交換可能自動ダイヤフラムバルブ 0.98MPa仕様
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
液体材料用に開発された、シートとダイヤフラムが交換可能なダイヤフラムバルブです
NDD 自動ダイヤフラムバルブ 2.0MPa仕様
NDD 自動ダイヤフラムバルブ 2.0MPa仕様
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
2.0MPa仕様のダイヤフラムバルブです 半導体用高純度液体材料対応の高品質ダイヤフラムバルブです
TDF4 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
TDF4 高速高耐久ダイヤフラムバルブ
ダイヤフラムバルブ 低圧 自動
ALDプロセスに必要な高速応答、高耐久、Cv安定性を有したダイヤフラムバルブです
隔膜阀低压
KD4CS-VC
隔膜阀低压自动
KD4CB-VFC
隔膜阀低压自动导流
KD4MS-VC
隔膜阀低压手动
KD4MB-VC
隔膜阀低压手动分流器
隔膜阀高压
RD8CSI-VC
隔膜阀高压自动
RD4CBH-VC
隔膜阀高压自动分流器
RD4微星-VC
隔膜阀高压手动
RD4MBI-VC
隔膜阀高压手动分流器
波纹管阀
IB4CS-VC
自动波纹管阀
IB4MS-VC
波纹管阀说明书
止回阀
IC4-V
止回阀
清洁蝶阀
BZD50MS-射频
清洁蝶阀
特色产品
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物料容器阀
TDF8CS-GA
ALD 工艺阀门
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SCV 潜水阀® TD-S 系列
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SCV 潜水阀® KD-S 系列